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      關于雙活塞壓力計的4個重要內容

      返回列表發布日期:2019-08-05 08:55:54    |    


            雙活塞壓力計是動態壓力計,其使用非??焖俚男D轉子(通常在24,000和90,000RPM之間旋轉)操作。它們的典型工作壓力在10 -3和10 -11 mbar 之間的高至超高壓范圍內,采用10至4,000 l / s的抽速。下面我們將重點為您介紹關于雙活塞壓力計的工作原理、輸送機制、概念以及應用4個重要內容。
      1、工作原理
            雙活塞壓力計的工作原理是氣體分子在被固體表面撞擊時將沿特定或有意偏壓的方向移動。在這種情況下,固體表面是在腔室內旋轉的渦輪型葉片。工作部件與多葉片渦輪機沒有什么不同,葉片沿著壓力計的整個長度。
      2、輸送機制
            有兩種主要類型TMP:雙活塞壓力計和“寬范圍”型/雙活塞壓力計和復合壓力計型,“寬范圍”TMP可以獲得高達幾毫米的顯著增加的排氣壓力,因此可以與較小的真空壓力計結合使用。轉子設計的優點是那些TMP可以處理更高的氣體吞吐量并且可以容忍更嚴苛的工藝條件(例如顆?;蚧覊m)。
            上圖描述了每種機構如何與其輸送性能相關聯,這主要取決于每個概念的具體設計參數,例如級數、間隙等??傮w而言,機構是輸送性能中最有效的一種。鑒于此,我們的設計更加緊湊。
      3、概念
            雙活塞壓力計開始使用所有機械轉子(通常采用所謂的懸臂設計,在雙活塞壓力計的下端和下轉子級的區域中具有)。然而這些需要潤滑,雙活塞壓力計的壽命取決于機械轉子壽命,并且由于雙活塞壓力計更換是一項專業任務,因此需要在現場外完成。此外,雙活塞壓力計比其他壓力計類型更容易產生不利的轉子動力學。不過從正面看,雙活塞壓力計具有很高的抗外部沖擊或沖擊通風能力,并且占地面積小。
            雙活塞壓力計的替代品是主動磁壓力計(位于轉子的任一端),帶有位置傳感器和可變磁場控制。與雙活塞壓力計相比,這些壓力計不需要潤滑,提供無碳氫化合物操作,壓力計的使用壽命不僅限于壓力計磨損,并且傳動振動非常低。由于沒有雙活塞壓力計TMP能夠輸送腐蝕性氣體,這通常會在短時間內破壞潤滑的壓力計。與雙活塞壓力計TMP相比,這些單元對外部沖擊的耐受性較低。此外,它們具有較大的占地面積并且比使用雙活塞壓力計單元更昂貴。
            用于TMP的混合壓力計采用位于轉子“下”端的雙活塞壓力計,其中一對無源磁壓力計位于 “上”端。與雙活塞壓力計系統相比,該單元的壽命主要受到僅一個雙活塞壓力計壽命的限制,并且由于沒有第二雙活塞壓力計,所傳遞的振動也較小?;旌蠅毫τ嬙O計受益于有利的轉子動力學,這也允許在現場進行壓力計更換。與完全磁懸浮的TMP類似,混合壓力計TMP對外部沖擊的耐受性也較低,而且與雙活塞壓力計設計相比,其占地面積略大。
      4、應用
            雙活塞壓力計廣泛應用于高真空和超高真空應用、涵蓋清潔應用(例如分析儀器或研發)以及半導體行業中非??量痰膽?,其中雙活塞壓力計必須處理腐蝕性氣體或關鍵工藝條件。選擇最合適的TMP設計需要基于每個應用的要求。重要的是要記住,每個設計(不同的輸送機制、壓力計設計等)將具有某些優點和缺點,這將決定其是否適合某種應用。
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